一．根據輪廓度儀設備的使用情況，每隔一段時間需要對設備進行保養。
1.首先使用無紡布沾*對設備金屬面導軌，工作平臺，探針等部位進行清潔，外殼可以沾少量水擦拭。在清潔探針時，盡量把探針檔位下放，并小心清潔，禁止按壓。
2.在金屬面導軌上適量的油，一般可以在移動頭上加，在移動時上能進行潤滑。金屬導軌一共有3處。
3.啟動設備與電腦，操縱盒上按下X/Z鍵，使設備能根據X軸或Z軸移動，下方三個按鍵分別對應探針上抬約+25的位置，平行約為0的位置，下放約為-25的位置。
電腦啟動軟件Formtracepak，回零。
操作手柄測頭沿著Z軸上下移動，對導軌進行潤滑。
二．輪廓度儀測力檢測
1.拿出設備配件壓力表，放置在工作臺上，根據情況進行墊高。
2.探針放平，此時電腦監控Z1位置應約為0，可允許一定上下偏差，把探針靠近壓力表桿尖處的小孔。
3.按下操縱盒下放按鈕，探針下壓到小孔到一定程度停止下壓，此時放慢手柄速度，操作手柄移動Z軸，觀察電腦Z1位置監控，把Z1移動到大約為0mm的位置。
4.觀察壓力表數據，壓力約為25mN-30mN,若壓力超出范圍，則需要調節探針尾部的砝碼進行調整。
輪廓度儀維護與保養結束。
